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導(dǎo)向精度 主要軌運動軌跡的度。影響導(dǎo)向精度的主要因素有：導(dǎo)軌的幾何精度和接觸精度，導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)形式，導(dǎo)軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動）壓導(dǎo)軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

低速運動平穩(wěn)性動導(dǎo)軌作低速運動或微量位移時易產(chǎn)生摩擦自激振動，即爬行現(xiàn)象。爬行會降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。

機電一體化系統(tǒng)中的導(dǎo)向裝置一般是軌，導(dǎo)軌由運動件和承導(dǎo)件組成。各種機械運行時，由導(dǎo)軌副保證執(zhí)行件的正確運動軌跡。并且導(dǎo)軌副也影響著執(zhí)行件的運動特性。

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