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低速運動平穩性動導軌作低速運動或微量位移時易產生摩擦自激振動，即爬行現象。爬行會降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。

固體潤滑是將固體潤滑劑覆蓋在導軌的摩擦表面上，形成黏結型固體潤滑膜，以降低摩擦，減少磨損。固體潤滑劑種類較多，按基本原料可分為金屬類、金屬化合物類、無機物類和有機物類。

機電一體化系統中的導向裝置一般是指導軌，導軌由運動件和承導件組成。各種機械運行時，由導軌副保證執行件的正確運動軌跡。并且導軌副也影響著執行件的運動特性。
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