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導向精度 主要指導軌運動軌跡的精確度。影響導向精度的主要因素有：導軌的幾何精度和接觸精度，導軌的結構形式，導軌及其支承件的剛度和熱變形，靜（動）壓導軌副之間的油膜厚度及其剛度等。

低速運動平穩性動導軌作低速運動或微量位移時易產生摩擦自激振動，即爬行現象。爬行會降低定位精度或被加工工件表面的粗糙度的值。

精度保持性 主要由導軌的耐磨性決定。耐磨性與導軌的材料、導軌副的摩擦性質、導軌上的壓強及其分布規律等因素有關。

機電一體化系統中的導向裝置一般是指導軌，導軌由運動件和承導件組成。各種機械運行時，由導軌副保證執行件的正確運動軌跡。并且導軌副也影響著執行件的運動特性。
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